欠陥検査システム（ハイアングル反射）

One-profile measurement geometry for inspecting surface

反射光を使用して製品表面の欠陥を照らし、検出する欠陥検査の光学構成です。最も一般的な検出角度は 90 度、照明角度は 60 度です。 特殊な状況では、これらの角度が異なる場合があります。ハイアングル反射構成は、製品表面の欠陥の検出のみに関連する場合に適したソリューションです。