複合光学構成の統合検査(3D と透過光学構成)
へこみや隆起した欠陥に重点を置きながら、すべての表面欠陥と製品内部の欠陥を検出および分類するための 2 つの光学構成
フリーシート上で透過型3Dウェブ検査を行います。 この形状により、製品内部の伝達欠陥とともに、非常に小さな凹みや隆起した欠陥を非常に高い精度で検出できます。 これは、約 10 度の照明角度と 90 度のカメラ視野角に基づいており、標準的な抄紙機および板紙機械で他のすべての表面欠陥を検出できます。 解像度は通常 0.15×0.15 mm で、1000 m/min のマシンで 600 MHz 以上のデータ処理が必要です。 これにより、100 um からの隆起欠陥の検出が可能になります。 へこみや隆起した欠陥の検出には、Procemexがスカンジナビアの大手液体パッケージング基板メーカーと協力して開発した特別なアルゴリズムが必要です。